Magnetron Püskürtme Nasıl Çalışır?
Magnetron püskürtme, ince filmler ve kaplamalar üretmek için bir vakumlu biriktirme prosesleri sınıfı olan bir fiziksel buhar biriktirme (PVD) yöntemidir.
"Magnetron püskürtme" adı, magnetron püskürtme biriktirme işleminde yüklü iyon parçacıklarının davranışını kontrol etmek için manyetik alanların kullanılmasından kaynaklanmaktadır.İşlem, püskürtme için düşük basınçlı bir ortam oluşturmak üzere yüksek vakum odası gerektirir.Plazmayı oluşturan gaz, tipik olarak argon gazı hazneye önce girer.
İnert gazın iyonlaşmasını başlatmak için katot ile anot arasına yüksek bir negatif voltaj uygulanır.Plazmadan gelen pozitif argon iyonları, negatif yüklü hedef malzeme ile çarpışır.Yüksek enerjili parçacıkların her çarpışması, atomların hedef yüzeyden vakum ortamına fırlamasına ve alt tabakanın yüzeyine doğru itilmesine neden olabilir.
Güçlü bir manyetik alan, elektronları hedef yüzeyin yakınında hapsederek, birikme oranını artırarak ve substratın iyon bombardımanından zarar görmesini önleyerek yüksek plazma yoğunluğu üretir.Magnetron püskürtme sistemi kaynak malzemenin eritilmesini veya buharlaşmasını gerektirmediğinden, çoğu malzeme püskürtme işlemi için bir hedef görevi görebilir.
Ürün parametreleri
ürün adı | Saf titanyum hedefi |
Seviye | Gr1 |
Saflık | Daha fazla %99,7 |
Yoğunluk | 4,5 gr/cm3 |
Adedi | 5 parça |
sıcak satış boyutu | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Başvuru | PVD makinesi için kaplama |
stok boyutu | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Diğer mevcut Hedefler | Molibden(Mo) Krom(Cr) TiAl Bakır(Cu) Zirkonyum(Zr) |
Başvuru
■Entegre devrelerin kaplanması.
■Düz panellerin ve diğer bileşenlerin yüzey panel görüntüleri.
■Dekorasyon ve cam kaplama vb.
Hangi ürünleri üretebiliriz?
■Yüksek saflıkta titanyum düz hedef (%99,9, %99,95, %99,99)
■Kolay kurulum için standart dişli bağlantı (M90, M80)
■Bağımsız üretim, uygun fiyat (kalite kontrol edilebilir)
Sipariş Bilgisi
Sorular ve siparişler aşağıdaki bilgileri içermelidir:
■ Çap, Yükseklik (Φ100*40mm gibi).
■ Diş boyutu (M90*2mm gibi).
■ Miktar.
■ Saflık talebi.